纯化方法

纯化方法主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在生产中，通常采用黑色钢瓶盛放。

在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，

化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。

高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。

显像管制造中要求纯度为99.99%以上。

在**技术中，加注系统必须先用高纯氮置换，再用高纯氦置换。

迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。

建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器。不要直接接触泄漏物。

尽可能切断泄漏源。防止气体在低凹处积聚，遇点火源着*炸。用排风机将漏出气送至空旷处。

漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。用雾状水保持火场中容器冷却。可用雾状水喷淋加速蒸发，但不可使用水枪射至。如吸入高纯氮，感到呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。